解决方案
检测方案
功率器件动态参数测试系统
对高功率器件静态气参数进行综合表征，并可在高电压偏置时执行全自动电容测量
高倍率金相显微镜
可支持最高1000X下超景深光学显微观察
晶圆探针台
Taiko工艺专用探针台，支持最薄60um的8英寸晶网产品测试
扫描电子显微镜
可进行30万倍放大观察，具有一体化能谱仪设计，应用于微区形貌成像及成份分析等
栅极电容&电阻测试仪
精确测量功率半导体器件的栅极电容和栅极电阻参数
功率器件分析仪曲线追踪仪
对IGBT器件动态参数进行综合表征 , 筛选出动态不良品和参数不一致产品生产环境
